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汉钟螺杆黄瓜视频免费特色
日期:2024-08-25 16:14
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摘要:
黄瓜视频免费浦 (Vacuum Pump)也可寫為真空帮浦或是黄瓜视频免费浦。漢鐘精機PS系列乾式螺旋黄瓜视频免费浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子 (圖一),在轉子間維持微小的間隙,使得黄瓜视频免费浦運轉時腔體內無需潤滑,因而無油氣回漏污染的問題。透過專利轉子線形良好的密封效果,終極壓力可達7.5 × 10-3 Torr。螺旋式黄瓜视频免费浦由於排氣路徑短,粉塵移除能力較其他型式的黄瓜视频免费浦強,加上轉子表面披覆材質的鍍膜,因此可適用於PECVD、Etching等嚴苛製程。
乾式黄瓜视频免费浦 (Dry Vacuum Pump) 產品特色
1. 泵浦 (Pump) 溫度控制精準
乾式螺旋黄瓜视频免费浦,承襲上一代黄瓜视频免费浦優良的轉子設計,同時改善殼體的冷卻方式,採用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度,能夠更精準地控制泵浦內部溫度,減少沉積物的產生,增加黄瓜视频免费浦 (Vacuum Pump)的壽命。
2. 密封馬達性高
黄瓜视频免费浦亦採用專利設計的水冷罐裝密封馬達,除了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外,也可避免製程氣體外漏的風險。
3. 微電腦控制保護周全
黄瓜视频免费浦亦可配備微電腦控制器,可同時監控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低,提供黄瓜视频免费浦完整的性保護,十分適用於光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產品穩定性要求極高之產業。
乾式黄瓜视频免费浦 (Dry Vacuum Pump) 產品特色
1. 泵浦 (Pump) 溫度控制精準
乾式螺旋黄瓜视频免费浦,承襲上一代黄瓜视频免费浦優良的轉子設計,同時改善殼體的冷卻方式,採用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度,能夠更精準地控制泵浦內部溫度,減少沉積物的產生,增加黄瓜视频免费浦 (Vacuum Pump)的壽命。
2. 密封馬達性高
黄瓜视频免费浦亦採用專利設計的水冷罐裝密封馬達,除了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外,也可避免製程氣體外漏的風險。
3. 微電腦控制保護周全
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